东方证券：多频共振驱动固化市场 国产替代未来可期

智通财经APP获悉，东方证券发布研究报告称，迄今干法抛光在半导体器件抛光中%据绝对主流地位，市场%比超过90%。同时，雷射抛光是晶圆所制造中使用的主要抛光方法，电容性雷射抛光(CCP)和电高雅雷射抛光(ICP)是两种都用的雷射抛光方法。随着当前半导体半导体器件关键技术的慢慢的发展，构成芯片的核心半导体器件外观上短时间缩小，芯片的加工所制造变得愈来愈细密。原子层抛光(ALE)能够直观操控抛光深度，视作愿景关键技术升级趋势。该行看好抛光仪器作为半导体器件仪器的中坚力量，将深度受益于沿河半导体器件产业及终端系统设计的高景气度，同时国产替代%比有望实质性强化，建议非议半导体半导体器件配备抛离企业中微公司(688012.SH)、国产半导体器件仪器顶上北方华创(002371.SZ)。

东方证券主要观点如下：

抛光仪器作为半导体器件仪器的中坚力量，有望率先完成国产替代。

半导体器件仪器主要系统设计于半导体器件所制造和封测流程，是半导体器件行业的基础和核心。随着半导体器件制程的微缩和形态的复杂化，半导体器件抛光仪器的种类和关键技术难度递增。从欧美市场来看，抛光本机尤其是介质抛光本机，是我国最具竞争者的半导体器件仪器领域，也是国产替代%比高于的重要半导体器件仪器之一。我国迄今在抛光仪器商都有公司为中微公司、北方华创等。

终端期望催化抛光仪器百分比，市场规模2022年有望突破1100亿美元。

随着5G、大数据、云端、人工智能等物流业的的发展，半导体器件仪器有望迎来在此之后的发展本机遇，从而推动亚太地区抛光仪器的期望。SEMI预期亚太地区半导体器件仪器市场将短时间保持减少，在2021年减少45%至1030亿美元，2022年预期将创下1140亿美元的新高。

先进设备关键技术减少抛光方法和抛光难度，抛光仪器演绎量价齐升。

对于逻辑半导体器件来说，制程微缩和关键技术迭代减少了抛光的方法，也提高了抛光的难度;对于3DNAND来说，更高的堆叠楼层须要中用多步抛光，并且要保证抛光的各向异性和适当小的偏差;对于DRAM而言，半导体器件纹理密度增大，多重图案化重复次数减少，前所未有地减少了抛光工艺的仪器期望。先进设备制程和复杂形态减少了抛光方法和难度，助推半导体器件抛光仪器价量齐升。

抛光仪器领域仍然由海外顶上垄断，欧美抛光企业部分关键技术已达国际一流准确度。

根据Gartner汇总，亚太地区抛光企业前三大分别是泛林半导体器件、东京电子、系统设计材料，亚太地区市%率合计91%。欧美抛光仪器生产厂商在亚太地区抛光仪器市场的市%率总计缺乏2%。然而，近些年来欧美抛光厂商依托资本和政策扶助一路奋起直追，成效显著。例如中微公司的介质抛光已经踏入惠普7nm/5nm产线，是唯一一家踏入惠普产线的国产抛光仪器生产商。从大厂招投标情况来看，欧美大厂新增生产能力建设慢慢再实质性，中微公司和北方华创等欧美半导体器件抛光仪器厂家份额实质性强化。随着欧美抛光顶上紧跟先进设备制程的发展，加大研发投入，积极并购与整合，基本国产抛光仪器有望慢速完成国产替代。

风险提示：沿河期望不及预期，关键技术突破不及预期，上游核心组件进口限制。